Titan GT3
商品簡述：
4、6吋Wafer
Single Polishing Wafer
3D量測重現精度
σ<0.5um for Bow_BF / Wafer Warp / TTV / MLTV / Thickness / TIR / MLTIR
- 支援4/6" 單拋Wafer
- 高穩定高精度的3D形貌量測技術
- TTV/LTV/BOW/Warp/Thickness多功能演算法
- 操作便利的多樣工程分析可視化形貌圖
- (1)高度圖
(2)虛擬平面高度圖
(3)輪廓圖
(4)3D 形貌圖 - 塊規自動校正系統
- 客製化報表輸出
- 自動分歸系統
- 高產能、高穩定性設備表現
選配
- 高翹曲(high warpage)晶圓解決方案
- OCR 辨識率 >99% (SEMI 標準字元)
- SECS/GEM 支援