Buffalo 3002F
商品簡述：
8、12吋FF(Film frame)
晶圓進料檢驗(入料)IQC、成品出廠檢驗OQC
- Die Saw
1µm
- 高精度轉塔檢測系統
- 多光源配置設計(BF/DF)
- Auto Find Die功能，可有效提高定位正確率，最高可容忍 Die pitch 40%的偏差量
選配
- Recipe 共用功能 (Recipe Server)
- 多晶片模組晶圓應用Multi Die function
- 特殊Al學習，分規準確率＞90%
- Color Filter
- OCR SEMI標準字元識別，識別率>99%
- JDView離線復判軟體，可提供Map疊圖分析
- SEMI S2/S8 認證
- Recipe 離線編輯功能
- 手持式 Barcode Reader/ RFID 功能