EagleEye
商品簡述：
4、6、8吋Wafer
- DEVICE製程段的表面缺陷檢出
- SiC Substrate Epi段缺陷檢出
- GaN on Si
最小檢出缺陷尺寸
1µm
- 高精度轉塔檢測系統
- 多光源配置設計(BF/DF/DIC)(Option)
- 快速精準對焦系統(Auto Focus System)，實現影像品質最佳化，可支援複雜設計之multi layer wafer
- CAD Import Function便捷設計，可大幅節省Recipe建立時間
- 多晶片模組晶圓應用Multi Die Function，可分區檢測缺陷 (Option)
選配
- 20x Inspection (option)
- Color Filter
- 多晶片模組晶圓應用Multi Die Function
- OCR SEMI標準字元識別，識別率>99%
- 手持式 Barcode Reader/ RFID 功能
- 特殊Al學習，分規準確率＞90%
- JDView離線復判軟體，可提供Map疊圖分析
- Recipe 離線編輯功能
- Recipe 共用功能 (Recipe Server)
- SEMI S2/S8 認證
- SECS/GEM 通訊系統
- 可支援自動化傳送系統(OHT/AGV/MGV...)
關鍵檢測/量測
- Pits
- MPD
- Scratch
- Particle
- SF
- Carrot
- Triangle
- Hexagon
- BPD
- TED
- TSD