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MicroLED
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MicroLED
本系列MicroLED產品可應用在平片(Bare Wafer)、晶粒(Chip)、面板(Panel)多個站點。
可應用製程 :
GSS、PSS、EPI、COW、COC1、COC2、PL 、Panel(G3.5)、Subpanel
GSS+
GSS+為專業晶圓3D形貌量測產品,可應用於MicroLED晶圓基板製程中,除了擁有優異的量測重現性,更有易操作、易維護、高速、高精度、高穩定性等特色。
µPlayLight
µPlaylight 為MicroLED領域專業檢測機,提供獨家PL檢測技術,拓寬可檢測缺陷內容及範圍,擁有高產能、高精度等多項優點之檢測設備。
µEagleEye
µEagleEye為MicroLED領域專業檢測機,能應用在COC/COW等製程,可達到多樣製程缺陷檢測與量測需求,提供最優的AOI解決方案。
Dragon700 series
Dragon 700 series系列產品適用於G1-G3.5基板尺寸,並可實現TFT substrate, QDCF(quantum dot color filter)等產品之自動化檢測/量測需求。