Dragon700 series
商品簡述：
對應基板尺寸 G1-G3.5
- TFT Backplane
- After Mass Transfer
- After Mass Repair
- QDCF(Quantum Dots Color Filter)
1µm
- MicroLED panel-level 全自動檢測/量測系統(max. 700*700 mm panel)
- 高速、高精度Micro die檢測
- 關鍵缺陷PL檢測
- 高精度轉塔檢測系統
- 多光源配置設計(BF/DF)
- 快速精準對焦系統(Auto Focus System)，實現影像品質最佳化
- 政美獨家2D量測系統
MetrologyX：高穩定、高精度量測軟體，適用CD/overlay...等 - 多功能3D量測系統，可應用於 Tilt、錫膏厚度量測...等
- Die Definition 輸入/輸出功能，可用於百萬等級die數之晶圓
選配
- 特殊Al學習，分規準確率＞90%
- Color Filter
- OCR SEMI標準字元識別，識別率>99%
- JDView離線復判軟體，可提供Map疊圖分析
- SEMI S2/S8 認證
- Recipe 離線編輯功能
關鍵檢測/量測
- Scratch
- Particle
- 缺錫
- 錫膏厚度量測
- Shift
- Rotate
- Tilt