µEagleEye
商品簡述：
MicroLED 4、6吋Wafer
最小作業Chip Size 15x15µm
晶圓進料檢驗(入料)IQC、成品出廠檢驗OQC
- COW (Chip on Wafer)
- 巨量轉移 COC (Chip on Carrier)
最小檢出缺陷尺寸
1µm
- 高精度轉塔檢測系統
- 多光源配置設計(BF/DF)
- 快速精準對焦系統(Auto Focus System)，實現影像品質最佳化
- 快速精準對焦系統，實現影像品質最佳化
- 多功能2D量測系統，可量測各式關鍵尺寸(Critical Dimension)
如：CD、Overlay、Shift、Rotate - Head 分區檢測功能
- 自定義區域良率分析-Grouping Function
選配
- 自動化翻轉模組
- 特殊Al學習，分規準確率＞90%
- Color Filter
- OCR SEMI標準字元識別，識別率>99%
- JDView離線複判軟體，可提供Map疊圖分析
- SEMI S2/S8 認證
- Recipe 離線編輯功能
關鍵檢測/量測
- Peeling
- Broken
- Crack
- Scratch
- Missing
- Particle
- Rotate
- Shift