白光分光測頭的原理是將白光照射在待測物表面,在聚焦範圍內所反射的光線, 會穿過針孔 到接收器上,然後使用光譜的解析,得到波長與高度的相對應數值, 利用點或是線的掃瞄, 而能得到整個面的高度資訊,白光分光的原理特性是即時 得到結果,除了不確定度非常低之 外,還有不受限於待測面積大小的特性,在微 細的特徵量測檢測上,有非常好的效果。