白光干涉原理乃是利用比較從待測物射與從參考平面反射過來的光線光程差,測頭會移動垂直 方向以得到在可視範圍內所有點的高度資料。白光干涉測頭所得到的資料有低不確定度的特性, 透過平面取像,可以在很短的時間內得到整個面的高度資訊,因此白光測頭可兼顧到快速與準 確度,而且有很高的泛用性。