量 測 設 備
該機以花崗石主體結構設計,加上機台 X/Y 軸使用線性馬達及空氣軸承驅動,流暢的平台移動, 更提高機台精度與穩定性。且搭配高精度之 3D Sensor 系統,量測軟體設計與演算法,可依客 戶需求增加其功能,以達到完全客製化之製程目標。
FCBIS X1 200 Semi-Auto ( 總行程 200mmx200mm ) FCBIS X1 350 Semi-Auto ( 總行程 350mmx350mm ) FCBIS X1 600 Semi-Auto ( 總行程 600mmx600mm ) 另可依客戶需求設計製作不同台面尺寸之規格 量測項目: 錫球高度 共平面度 SMT 高度 缺球 錫球直徑 錫球位置度 孔深 銅面盲孔與線路量測 錫球體積 Ball Pad 高度 Warpage of Substrate
應用領域: 覆晶載板檢測 ( 切割與未切割應用 ) 晶圓錫球檢測 微小結構量測 鍍銅面板